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全球(qiu)芯(xin)片(pian)短缺狀(zhuang)況(kuang)反複出(chu)現(xian)，半導(dao)體(ti)製造行(xing)業備(bei)受(shou)矚目。該(gai)行業產業鏈(lian)長(zhang)，從(cong)工藝(yi)上可分(fen)為(wei)三大道工藝：單(dan)晶矽片製造—前(qian)道(dao)工藝—後道工藝，這(zhe)三(san)大(da)製造工藝裏涉(she)及設備眾多，如單晶(jing)爐、光刻(ke)機、晶圓(yuan)檢測等等。受半(ban)導體高精尖(jian)要(yao)求和市(shi)場(chang)格(ge)局影響(xiang)，這些(xie)設備電源需要滿足高可靠、高性能、瞬(shun)態(tai)帶(dai)載能(neng)力(li)強(qiang)、國產化等要求(qiu)。

（一）標(biao)準導軌電源：高可靠性、EMC優異(yi)

單晶矽(xi)片製造(zao)的生產環境相(xiang)較(jiao)於後兩道工藝的要惡(e)劣一些，生(sheng)產過(guo)程(cheng)中產生粉塵(chen)和(he)廢(fei)水(shui)等，因(yin)此對設備電源的(de)可靠(kao)性，防(fang)護能力提(ti)出了(le)更高的要求。

單晶爐(lu)的電源方案(an)可簡(jian)化(hua)如下圖，工廠用電給到兩個(ge)主電源，一(yi)路由(you)480W標準導軌電源給電給(gei)到控製板、顯示(shi)屏(ping)、傳(chuan)感器等，另一(yi)路由(you)150W機殼(ke)開(kai)關電源給電到(dao)攝(she)像(xiang)機等輔助設(she)備。

以標準導軌LIF480-10B24R2為例(li)，該產品滿足寬輸入電壓85-264VAC/120-370VDC，寬工作溫度-40℃ to +70℃，高隔離耐壓3000VAC，高PF值＞0.99，低紋(wen)波噪(zao)聲(sheng)50mV等；而(er)且(qie)具備可承受305VAC輸入電壓5s、體積(ji)小（48mm寬度(du)）、保護功(gong)能齊(qi)全的優勢，可(ke)應(ying)用於(yu)半導體製造等領(ling)域。

（二）高端(duan)導軌電源：高精度、低紋波(bo)

經(jing)過單晶矽片製造後，進(jin)入薄膜(mo)沉(chen)積、光(guang)刻、離子(zi)注入等(deng)前道工藝。這時設備的工藝環(huan)境(jing)相對(dui)好(hao)一些，其設備電源更(geng)看重(zhong)精度、紋波等參(can)數。

以光刻機為例，光刻機的電源方案如(ru)下(xia)圖，工廠(chang)用電大致(zhi)分兩(liang)路，一路通過超(chao)大功率電源給電到照(zhao)明係(xi)統(tong)，一路可用240W/480W的導軌電源給電到各(ge)分係統。

240/480W電源可選(xuan)用国产91精品青草社区免费版高端導軌LIMF係列，該係列性能強大，滿(man)足高精度、低紋波噪聲的需(xu)求；而且具備150%峰(feng)值(zhi)功率、ModBus通(tong)訊功能等特(te)點(dian)。另外(wai)，其(qi)可靠性和使(shi)用壽(shou)命(ming)大幅(fu)提升，比(bi)如滿足(zu)防爆(bao)認證(zheng)，60℃可滿載工作，提供5年質(zhi)保(bao)，兼具(ju)防鹽(yan)霧、5G抗(kang)震(zhen)、三防漆(qi)保護等優勢。

（三）中大功率機殼開關電源：高效(xiao)低耗(hao)、高功率密(mi)度

後(hou)道工藝主(zhu)要包(bao)括減(jian)薄、劃(hua)片、引線縫(feng)合、成(cheng)塑(su)等，設備電源可用中大功率機殼開關電源，來解決(jue)大功率、低紋波等需求。

以(yi)晶圓檢測設備為例，其設備電源方案可類(lei)似(shi)下圖。用1個3000W電源或(huo)2個1500W電源並(bing)聯升(sheng)功率，給電到機櫃(gui)、滑台(tai)等，再通過DC/DC模塊URB2412ZP-6WR3降(jiang)壓到12V，再(zai)給電到後端MCU、通信(xin)模塊。

中大功率機殼開關電源以1500W的LMF1500-20B24來(lai)說(shuo)，該產品體積小(xiao)巧(qiao)，功率密度高至19.18W/inch³，同(tong)時具備低(di)功耗、高效率(lv)、高可靠性的優點。此(ci)外，還具備寬工作溫度-40℃ to +70℃，主動式PFC，支持(chi)3+1並聯冗餘、均流，輸出短路、5s恒(heng)流、過壓、過溫(wen)保護功能等優點，可良(liang)好用於如晶圓檢測等半導體設備中。

（四(si)）配(pei)套(tao)模塊：配套齊全(quan)、保護(hu)功能完(wan)善(shan)

半導體行業設備的電源方案不(bu)僅包括上(shang)述(shu)的導軌、殼架(jia)類供電側電源，還包括(kuo)冗餘模塊、UPS模塊、EMC濾(lv)波器等配套模塊，DC/DC模塊、通信總線模塊等板(ban)卡(ka)側(ce)電源，射(she)頻(pin)電源、直流高壓電源等特殊電源。

国产91精品青草社区免费版在關於半導體製造設備領域(yu)裏(li)有自(zi)己(ji)的一站(zhan)式電源解決方案，從前端到後端均有(you)產品可以匹(pi)配，可為廣大用戶(hu)帶去(qu)高精度、低紋波、EMC特性好、瞬態帶載能力強，使用壽命長的優質國(guo)產電源。

（五(wu)）小結(jie)

隨(sui)著(zhu) 5G 的廣泛(fan)部(bu)署(shu)以及(ji)物(wu)聯網(wang)時(shi)代(dai)的發(fa)展，半導體製造極(ji)其重要，電源需求日(ri)益(yi)擴(kuo)大，其要求也(ye)更加嚴格。国产91精品青草社区免费版作(zuo)為一站式電源解(jie)決方(fang)案商(shang)，致力為半導體領域用戶提供更多(duo)無(wu)憂的國產電源。